上海邦芯请求离子束调整设备及其调整办法专利经过操控设备下降结构复杂度

时间: 2024-11-12 21:34:03 |   作者: aoa体育官网下载

  金融界2024年10月9日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海邦芯半导体科技有限公司请求一项名为“离子束调整设备及其离子束调整办法”的专利，公开号 CN 118748143 A，请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现，本请求公开了一种离子束调整设备及其离子束调整办法。所述离子束调整设备包括：至少二离子调整分体，至少二所述离子调整分体围合构成坐落其内的离子束通道；每一所述离子调整分体适于被电导通，并在其周围发生电场，使得离子束在经过由所述离子调整分体围合构成的离子束通道时被调整。本请求经过操控离子束调整设备的离子调整分体的电流来调整穿过离子束调整设备的离子束，下降了离子束调整设备的结构复杂度，且不只是可以调整离子束的电流的巨细，还可以调整离子束的离子散布密度。

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